Внутрішні розміри камери (Д х Ш х В), mm:
325 x 265 x 90 (для 1 лотка); 204 x 147 x 90, 187 x 137 x 90 (для 2-х лотків)
Продуктивність вакуумного насоса, м 3 / год:
-

Документи