腔室的内部尺寸(宽度x高度x深度), 毫米:
810 x 205 x 605
真空泵, m3/h:
100
生产力，次/分钟。:
2 - 3
外形尺寸 (宽度x高度x深度), mm:
850 x 1072 x 1016
重量, kg:
330
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K5 (pdf)
