腔室的内部尺寸(宽度x高度x深度), 毫米:
480 x 180 x 530
真空泵, m3/h:
60
生产力，次/分钟。:
2 - 3
电源输入，千瓦:
1,5
外形尺寸 (宽度x高度x深度), mm:
520 x 1036 x 765
重量, kg:
135
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