腔室的内部尺寸(宽度x高度x深度), 毫米:
340 x 130 x 330
真空泵, m3/h:
10
生产力，次/分钟。:
2 - 3
电源输入，千瓦:
0,8
外形尺寸 (宽度x高度x深度), mm:
375 x 350 x 560
重量, kg:
50
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