腔室的内部尺寸(宽度x高度x深度), 毫米:
950 x 450 x 180
真空泵, m3/h:
220
电源输入，千瓦:
7,5
外形尺寸 (宽度x高度x深度), mm:
1240 x 860 x 1550
重量, kg:
610
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07S (pdf)
