腔室的内部尺寸(宽度x深度x高度), 毫米:
580 x 550 x 150
真空泵, m3/h:
2x20
生产力，次/分钟。:
-
电源输入，千瓦:
1,5
外形尺寸 (宽度x深度x高度), mm:
1250 x 745 x 950
重量, kg:
207
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